羅茨真空泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，靠泵腔內(nèi)一對(duì)漸開線轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來(lái)移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。通常抽氣速率較大，配置電機(jī)較小，故需要前級(jí)泵預(yù)抽，到前級(jí)泵抽到規(guī)定真空度后，啟動(dòng)羅茨真空泵，來(lái)提高抽速和真空度。它的結(jié)構(gòu)和工作原理如圖所示。

1、泵內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)件無(wú)摩擦、無(wú)潤(rùn)滑、無(wú)油可獲得清潔真空。
2、 轉(zhuǎn)子漸開線擺線型線、加工精度高、動(dòng)平衡確。
3、泵腔內(nèi)氣體垂直流動(dòng)，有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排除。
4、專業(yè)制造的高精度齒輪、進(jìn)口軸承，確保運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠。
5、采用油箱、中壁水冷夾套設(shè)計(jì)，對(duì)泵油、軸承、齒輪、密封組件進(jìn)行冷卻，大大提高使用壽命。
6、可與液環(huán)真空泵、往復(fù)真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等組成羅茨真空機(jī)組。
7、過流部件可全不銹鋼、鍍鎳磷合金、碳化鎢，哈氏合金、襯四氟，根據(jù)真空強(qiáng)腐蝕性環(huán)境而選擇防腐方案。