儀器用途
該設備主要用于COF.PCB在面板上的Bonding 效果，壓接偏移檢查與壓痕檢查，視場距離測量及系統(tǒng)數(shù)據(jù)上傳CIM系統(tǒng)。 儀器特點
X,Y軸手動，Z軸具有電動及自動聚焦功能。
該測量軟件高度集成， 能提高檢測效率及精度。
局部部件功能
標準控制系統(tǒng)布線圖 被動式減震系統(tǒng) 工作臺快速移動與減震系統(tǒng)的調壓與控制系統(tǒng)
不同產(chǎn)品觀察效果圖
技術參數(shù)
| 儀器型號 | YVM-5040JX | YVM-10080JX | YVM-13075JX |
| 工作臺尺寸（mm） | 706*606 | 1180*1040 | 1690*1150 |
| 玻璃臺尺寸（mm） | 530*430 | 1050*850 | 1370*820 |
| 運動行程（mm） | X:500 Y:400 | X:1000 Y:800 | X:1300 Y:750 |
| 調焦行程（mm） | Z軸100mm | ||
| 測量與瞄準系統(tǒng) | 高清數(shù)字彩色相機 | ||
| 測量視場 | 視頻可視范圍，根據(jù)物鏡的大小來定 | ||
| 軟件 | 源興光學專用測量軟件 | ||
| 示值誤差（視場內(nèi)）mm | 視場外精度X.Y小于等于（3+L/1000）um，Z小于等于（5+L/200）um | ||
| 照明系統(tǒng) | 鹵素燈表面光及輪廓光 | ||
| 外形尺寸（mm）長X寬X高 | 1050*800*950 | 1760*2180*1850 | 1990*1950*1610 |
| 儀器重量（KG） | 500 | 2300 | 2800 |
| 玻璃臺承重 | 20KG | ||
| 儀器電源 | 220V(AC) 50HZ ,125W | ||
| 工作高度（mm） | 850 | 1050 | 1050 |
| 電動控制 | 微分干涉與偏光 | ||
