JSM-6610A/JSM-6610LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS）組合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。
大樣品室和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
樣品室對(duì)應(yīng)樣品的直徑可達(dá)到200mm,5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)確保了高效率的樣品移動(dòng)和觀察。
操作窗口
直觀的操作界面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營(yíng)造高效率的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí)，即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。
同時(shí)顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像?？赏瑫r(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。
微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量
適合于多種測(cè)量功能?？稍谟^察圖像上直接進(jìn)行測(cè)量。也可將測(cè)量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。
標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái)，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析，配合連貫
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。
維護(hù)簡(jiǎn)便
工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說(shuō)明。
可信賴的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。
JSM-6610規(guī)格
| 保證分辨率 | 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV） |
| 放大倍數(shù) | 5至300,000x |
| 加速電壓 | 0.3kV至30kV |
| 電子槍 | 工廠預(yù)對(duì)中燈絲 |
| 聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
| 物鏡 | 錐形物鏡 |
| 樣品臺(tái) | 全對(duì)中樣品臺(tái) |
| X-Y | 125mm-100mm |
| Z | 5mm至80mm |
| 旋轉(zhuǎn) | 360° |
| 傾斜 | －10°至＋90° |
| 排氣系統(tǒng) （高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排氣系統(tǒng) （低真空模式） | DPx1，RPx2 |
