三維激光共焦顯微拉曼光譜儀是一種高靈敏度和高空間分辨率的拉曼共焦光譜儀系統(tǒng),它可以進(jìn)行三維拉曼成像,橫向空間分辨率高達(dá)200nm，軸向分辨率高達(dá)500nm。此外，與掃描探針顯微鏡SPM相結(jié)合可以同時(shí)進(jìn)行拉曼和形貌成像。利用針尖增強(qiáng)拉曼光譜TERS技術(shù)，可以獲得50nm以下的橫向空間分辨率。采用紫外激光激發(fā)，非常適合硅器件應(yīng)力分布。
三維激光共焦顯微拉曼光譜儀特點(diǎn)
高靈敏度：4階Si拉曼測量時(shí)間小于1分鐘
快速拉曼成像，所需激發(fā)激光功率小
空間分辨率高：針尖增強(qiáng)拉曼光譜TERS技術(shù)可以獲得50nm以下分辨率
130nm分辨率@364nm, 200nm分辨率@488nm
光譜分辨率高：0.5cm^-1(Echelle光柵技術(shù)），0.1cm^-1（Curve Fitting軟件算法）
激光掃描顯微鏡可選：自聚焦功能，自動(dòng)3個(gè)波長激光切換，同時(shí)共聚焦拉曼成像和共聚焦激光光學(xué)成像
近場針尖增強(qiáng)拉曼光譜TERS顯微鏡可選：可集成共聚焦拉曼和掃描探針顯微鏡，空間分辨率達(dá)50nm
Deconvolution軟件：分辨率提高1.5倍，拉曼共聚焦成像空間分辨率高達(dá)100nm,標(biāo)準(zhǔn)分辨率為波長/4.2, 其中波長=488nm, 532nm, 633nm,785nm
“大面積掃描選項(xiàng)”–大樣本的快速M(fèi)apping映射
?具有毫米、厘米或更大掃描區(qū)域的步進(jìn)電機(jī)位移臺的拉曼成像。
?通過同步恒速樣本移動(dòng)和數(shù)據(jù)采集進(jìn)行快速掃描。
?在點(diǎn)掃描和快速掃描之間輕松切換。
?可與“線掃描”選項(xiàng)組合。
※此掃描選項(xiàng)需要步進(jìn)電機(jī)位移臺。
三維激光共焦顯微拉曼光譜儀通用規(guī)格
空間分辨率指標(biāo)
波長nm 數(shù)值孔徑N.A. XY方向nm Z方向nm
364 1.4（油浸） 130 330
488 1.4（油浸） 200 500
488 0.9 250 520
532 0.9 275 560
633 0.9 320 660
785 0.9 390 800
•靈敏度：測量四階硅拉曼光譜可達(dá)1分鐘/點(diǎn)（@488nm，5mW激光功率）
•波數(shù)范圍：50cm^-1～5000cm^-1（取決于激發(fā)激光）
•波數(shù)分辨率：0.5cm^-1～20cm^-1（@1.5CCD像素）
•控制：電腦自動(dòng)控制所有光學(xué)元件
•隔振：空氣彈簧式工作臺
顯微鏡
•正置顯微鏡/倒置顯微鏡（可選）
•CCD相機(jī)可選
光學(xué)元件（可選）
•安裝的光學(xué)器件：偏振光學(xué)器件（激發(fā)/檢測通道），
自動(dòng)波長校準(zhǔn)，邊緣濾波片（可更換為Notch濾波片）
•可選光學(xué)元件：紫外線-可見 可見-近紅外 近紅外
成像光譜儀
•焦距：52cm
•光柵：最多4個(gè)（可自動(dòng)切換）
•光柵選擇（G/mm）：150、200、300、600、1200、1800、2400、2800，階梯形Echelle光柵
•狹縫寬度：0~1.5mm（電動(dòng)）
•出口數(shù)量：2個(gè)（可配備兩種探測器）
•雜散光去除率：1×10^-5
壓電位移臺
•行程范圍：XY:100μm（可選300μm）Z:100μm（可選300μm）
•定位重復(fù)精度：<30 nm，閉環(huán)
•負(fù)載能力：高達(dá)1kg
•電控位移臺或壓電位移臺組合安裝可選
掃描振鏡掃描儀（可選）
•行程范圍：XY:100μm（100x顯微鏡物鏡）250μm（40x顯微鏡物鏡）
探測器
•TE制冷CCD:1024×128像素（26μm/像素）（可選擇UV、visible和NIR類型）
•雪崩光電二極管
•光電倍增管
激勵(lì)激光器（可選）
•325nm, 364nm, 442nm, 458nm, 488nm, 514nm, 532nm, 633nm, 785nm
控制和分析用計(jì)算機(jī)/軟件
•控制系統(tǒng)存儲在機(jī)架中
•分光計(jì)，狹縫，濾光片，偏光鏡和其他光學(xué)元件的控制
•激光開關(guān)鏡（最多3個(gè)激光器）
•2D?3D圖像旋轉(zhuǎn)，任意位置切片
•拉曼光譜顯示
•波數(shù)自動(dòng)校準(zhǔn)
•基線校正
•曲線擬合：可選光譜數(shù)據(jù)庫分析軟件
其它選項(xiàng)
•加熱/冷卻：－180℃至600℃（取決于設(shè)備）
•高溫樣品加熱臺
•時(shí)間分辨測量：條紋相機(jī)，TCSPC（時(shí)間相關(guān)單光子計(jì)數(shù)）
•近場拉曼光譜
三維激光共焦顯微拉曼光譜儀特點(diǎn)
高靈敏度：4階Si拉曼測量時(shí)間小于1分鐘
快速拉曼成像，所需激發(fā)激光功率小
空間分辨率高：針尖增強(qiáng)拉曼光譜TERS技術(shù)可以獲得50nm以下分辨率
130nm分辨率@364nm, 200nm分辨率@488nm
光譜分辨率高：0.5cm^-1(Echelle光柵技術(shù)），0.1cm^-1（Curve Fitting軟件算法）
激光掃描顯微鏡可選：自聚焦功能，自動(dòng)3個(gè)波長激光切換，同時(shí)共聚焦拉曼成像和共聚焦激光光學(xué)成像
近場針尖增強(qiáng)拉曼光譜TERS顯微鏡可選：可集成共聚焦拉曼和掃描探針顯微鏡，空間分辨率達(dá)50nm
Deconvolution軟件：分辨率提高1.5倍，拉曼共聚焦成像空間分辨率高達(dá)100nm,標(biāo)準(zhǔn)分辨率為波長/4.2, 其中波長=488nm, 532nm, 633nm,785nm
“大面積掃描選項(xiàng)”–大樣本的快速M(fèi)apping映射
?具有毫米、厘米或更大掃描區(qū)域的步進(jìn)電機(jī)位移臺的拉曼成像。
?通過同步恒速樣本移動(dòng)和數(shù)據(jù)采集進(jìn)行快速掃描。
?在點(diǎn)掃描和快速掃描之間輕松切換。
?可與“線掃描”選項(xiàng)組合。
※此掃描選項(xiàng)需要步進(jìn)電機(jī)位移臺。
三維激光共焦顯微拉曼光譜儀通用規(guī)格
空間分辨率指標(biāo)
波長nm 數(shù)值孔徑N.A. XY方向nm Z方向nm
364 1.4（油浸） 130 330
488 1.4（油浸） 200 500
488 0.9 250 520
532 0.9 275 560
633 0.9 320 660
785 0.9 390 800
•靈敏度：測量四階硅拉曼光譜可達(dá)1分鐘/點(diǎn)（@488nm，5mW激光功率）
•波數(shù)范圍：50cm^-1～5000cm^-1（取決于激發(fā)激光）
•波數(shù)分辨率：0.5cm^-1～20cm^-1（@1.5CCD像素）
•控制：電腦自動(dòng)控制所有光學(xué)元件
•隔振：空氣彈簧式工作臺
顯微鏡
•正置顯微鏡/倒置顯微鏡（可選）
•CCD相機(jī)可選
光學(xué)元件（可選）
•安裝的光學(xué)器件：偏振光學(xué)器件（激發(fā)/檢測通道），
自動(dòng)波長校準(zhǔn)，邊緣濾波片（可更換為Notch濾波片）
•可選光學(xué)元件：紫外線-可見 可見-近紅外 近紅外
成像光譜儀
•焦距：52cm
•光柵：最多4個(gè)（可自動(dòng)切換）
•光柵選擇（G/mm）：150、200、300、600、1200、1800、2400、2800，階梯形Echelle光柵
•狹縫寬度：0~1.5mm（電動(dòng)）
•出口數(shù)量：2個(gè)（可配備兩種探測器）
•雜散光去除率：1×10^-5
壓電位移臺
•行程范圍：XY:100μm（可選300μm）Z:100μm（可選300μm）
•定位重復(fù)精度：<30 nm，閉環(huán)
•負(fù)載能力：高達(dá)1kg
•電控位移臺或壓電位移臺組合安裝可選
掃描振鏡掃描儀（可選）
•行程范圍：XY:100μm（100x顯微鏡物鏡）250μm（40x顯微鏡物鏡）
探測器
•TE制冷CCD:1024×128像素（26μm/像素）（可選擇UV、visible和NIR類型）
•雪崩光電二極管
•光電倍增管
激勵(lì)激光器（可選）
•325nm, 364nm, 442nm, 458nm, 488nm, 514nm, 532nm, 633nm, 785nm
控制和分析用計(jì)算機(jī)/軟件
•控制系統(tǒng)存儲在機(jī)架中
•分光計(jì)，狹縫，濾光片，偏光鏡和其他光學(xué)元件的控制
•激光開關(guān)鏡（最多3個(gè)激光器）
•2D?3D圖像旋轉(zhuǎn)，任意位置切片
•拉曼光譜顯示
•波數(shù)自動(dòng)校準(zhǔn)
•基線校正
•曲線擬合：可選光譜數(shù)據(jù)庫分析軟件
其它選項(xiàng)
•加熱/冷卻：－180℃至600℃（取決于設(shè)備）
•高溫樣品加熱臺
•時(shí)間分辨測量：條紋相機(jī)，TCSPC（時(shí)間相關(guān)單光子計(jì)數(shù)）
•近場拉曼光譜
