| 徠卡全手動(dòng)正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL概述 | ||
| 徠卡全手動(dòng)正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL檢驗(yàn)系統(tǒng)，快速檢測(cè)，快速響應(yīng)。在微電子和半導(dǎo)體的檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析中，檢測(cè)速度快，響應(yīng)速度快。視場(chǎng)寬敞30%，可快速掃描zui大6"樣品組件，DM3 XL檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場(chǎng)能更快地識(shí)別缺陷，提高工作效率。 DM3 XL檢驗(yàn)系統(tǒng)為中等預(yù)算用戶提供了品質(zhì)，是微電子和半導(dǎo)體理想的檢驗(yàn)系統(tǒng)。 | ||
| 徠卡全手動(dòng)正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL性能 | ||
| • 快速檢測(cè)，快速響應(yīng)，視場(chǎng)寬敞30%，DM3 XL檢測(cè)系統(tǒng)能有效節(jié)省檢驗(yàn)時(shí)間 • 快速掃描zui大6"的樣品組件，放大倍率0.7X宏觀物鏡即刻采集35.7mm的視場(chǎng) • 更多細(xì)節(jié)盡收眼底，常規(guī)物鏡看不到的區(qū)域在宏觀概覽下無所遁形，可靠檢測(cè) 晶片邊緣或中心顯影不足的區(qū)域，檢測(cè)不均勻的徑向膜厚度，工作更高效 • 適用于所有相襯觀察方法的LED，提供恒定色溫，真彩色成像，始終可看到相 同顏色樣品，獲得可復(fù)制的結(jié)果，LED使用壽命可達(dá)35000小時(shí)，且低能耗， 節(jié)約成本 • 專業(yè)的光學(xué)特性，采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面、邊緣或碎屑，以簡(jiǎn)單有效的方式從 不同角度照亮樣品，從而實(shí)現(xiàn)各種形貌的可視化。借助深暗場(chǎng)對(duì)比檢測(cè)樣品較 低層中的微小劃痕或小顆粒 • 不同樣品–可變載物臺(tái)插件，有種類豐富的載物臺(tái)插件供選擇，滿足各種尺寸 試樣的檢測(cè)需要 • 工作舒適直觀，采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，舒適性好，操作更簡(jiǎn)單 | ||
| 技術(shù)參數(shù) | ||
| 系統(tǒng) | Leica DM3 XL技術(shù)參數(shù) | |
| 顯微鏡支架 | 固定的金屬支架 | |
| 調(diào)焦 | 2檔調(diào)焦（粗調(diào)/微調(diào)，采用1μm測(cè)微尺刻度，帶頂部調(diào)焦限位裝置）或 3檔調(diào)焦（粗調(diào)/微調(diào)，采用1μm和4μm測(cè)微尺刻度，帶頂部調(diào)焦限位裝置） 扭矩粗調(diào)焦，可調(diào)載物臺(tái)高度擋塊 | |
| 載物臺(tái)沖程 | 30mm | |
| 入射光 | 堅(jiān)固的入射光軸，帶4位反射鏡轉(zhuǎn)盤 | |
| 適用于BF/DF/POL/DIC和FLUO： ›帶斜射照明 ›帶彩色編碼光圈輔助（CCDA) ›帶中心孔徑可變光闌 ›帶入射光濾片匣（雙濾片，直徑32mm） | ||
| 下列光源可適應(yīng)所有入射光軸： ›LED-燈箱，帶入射光亮度內(nèi)部顯微鏡空件 ›鏡像室106，適用于兩種光源的同步調(diào)整 ›熒光照明SFL 100、4000和7000 ›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75 ›12V100W鹵素光源（106或107/2系列燈箱），帶獨(dú)立變壓器 | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)盤/物鏡 | 5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物鏡轉(zhuǎn)盤： ›5X、10X、20X高反差平場(chǎng)消色差EPI物鏡 ›2.5X-100X平場(chǎng)消色差EPI物鏡 ›1.25X-100X平場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 ›0.7X宏觀50X、100X、150X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 | |
| LED照明 | 適用于所有相襯觀察方法的LED ›在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像 ›自由調(diào)節(jié) ›無需更換燈泡 – 無停機(jī)時(shí)間 ›可復(fù)制的結(jié)果 | |
| 載物臺(tái) | 有種類豐富的載物臺(tái)插件供選擇，適合多種類型和尺寸的試樣檢驗(yàn)： ›載物臺(tái)尺寸：150x150mm ›載物臺(tái)插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座 ›快速的粗略或精準(zhǔn)載物臺(tái)定位 | |
| 附件 | 選配放大倍率調(diào)節(jié)器（1X、1.5X、2X） | |
| 選配測(cè)量載物臺(tái)，適用于X、Y和Z向測(cè)量 | ||
| 透射光 | 借助帶光纖的外部冷光源照明 | |
| 電源 | 穩(wěn)定的通用電源單元，90-230V | |
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鑲嵌機(jī)
檢驗(yàn)系統(tǒng)，快速檢測(cè)，快速響應(yīng)。在微電子和半導(dǎo)體的檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析中，檢測(cè)速度快，響應(yīng)速度快。視場(chǎng)寬敞30%，可快速掃描Z大6““樣品組件，DM3 XL檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場(chǎng)能更快地識(shí)別缺陷，提高工作效率。
徠卡全手動(dòng)正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL 產(chǎn)品信息
