功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網(wǎng)）
- 設(shè)有“Quick Setup”（快速設(shè)定）菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作
- 用于開發(fā)、測(cè)試和下載過程的 Windows® 程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù)，測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控
功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網(wǎng)）
- 設(shè)有“Quick Setup”（快速設(shè)定）菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作
- 用于開發(fā)、測(cè)試和下載過程的 Windows® 程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù)，測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控
規(guī)格
| 類型 | SQC-310 | |
|---|---|---|
| 測(cè)量 | ||
| QCM 輸入 | | 2 (4 optional) |
| 頻率范圍 | | 4 to 6 MHz |
| 頻率分辨率 | | ± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period |
| 厚度分辨率（密度 = 1，z 比值 = 1） | | 0.0368 Å |
| 頻率穩(wěn)定性 | | ± 2 ppm total, 0 to 50C |
| 測(cè)量速率 | | 1 to 10 Hz |
| 速率顯示 | | 0.01 Å/sec |
| 控制 | ||
| 存儲(chǔ) | | 100 processes, 1000 layers, 50 films |
| 控制輸出 | | 2 (4 optional) |
| 輸出信號(hào) | | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
| 數(shù)字輸入/繼電器 | | 8 (16 optional) |
| 數(shù)字輸入 | | 5 VDC non-isolated |
| 繼電器 | | SPST Form 1A, 30V, 2A max |
| 接口 | | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) |
| 遠(yuǎn)程電源控制 | | Optional (IPN 782-900-017) |
| 顯示器 | ||
| 類型 | | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD |
| 圖表 | | Rate, deviation, power or full screen numeric |
| 一般 | ||
| 功率 | | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
| 合規(guī)性 | | CE, RoHS |
| Windows® 軟件 | | Included |
| 殼體/安裝 | | 5 1/4” half-rack |
