MX12R技術規(guī)格。

光學系統(tǒng)：無限遠色差校正光學系統(tǒng)

觀察方式：明場/暗場/偏光/DIC

觀察筒：無限遠鉸鏈三通觀察筒，0-35°傾角可調，正像， 瞳距調節(jié):50-76mm，分光比100:0 或0:100。

目鏡：高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調，可帶單刻度十字分劃版

物鏡：明暗場半復消金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X）

         超長工作距明暗場半復消金相物鏡（20X） 

         長工作距明暗場半復消金相物鏡（50X、100X）

         明場半復消金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） 

         超長工作距明場半復消金相物鏡（20X）

轉換器：明暗場六孔電動轉換器，帶DIC插槽

機架組：反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統(tǒng)

           透反機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統(tǒng)

載物臺：12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用）

照明系統(tǒng)：12V100W鹵素燈 , 明暗場反射照明器,帶可變電動孔徑光闌，視場光闌,中心均可調；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像：0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調焦

其他：起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC組件；12寸晶圓盤