精密離子減薄儀 PIPS II
型號(hào) 695
一代PIPS離子減薄系統(tǒng)樹(shù)立了透射電鏡(TEM)制樣的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)已超20年,而全新一代精密離子減薄儀(PIPS™) II基于一代PIPS有了全新的升級(jí)。
PIPS II能對(duì)減薄樣品進(jìn)行精準(zhǔn)定位。10英寸觸摸屏簡(jiǎn)單易用,提高對(duì)減薄區(qū)域的精度控制和減薄過(guò)程的可重復(fù)性。
配備的數(shù)碼變焦顯微鏡系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)減薄過(guò)程,同時(shí)可將獲取的彩色圖像存儲(chǔ)于DM軟件中,用于與樣品在TEM中成像對(duì)比。
性能優(yōu)點(diǎn)
? 系統(tǒng)及X-Y可調(diào)樣品臺(tái):使用樣品臺(tái)來(lái)把減薄區(qū)域精準(zhǔn)定位到離子束交叉點(diǎn)
? 低能量聚焦離子槍:改進(jìn)低電壓性能的離子槍,有用電壓低至 100 伏,從而快速安全地對(duì) FIB 制備的TEM樣品進(jìn)行拋光
? 能量從 0.1 keV到 8 keV可調(diào) : 低能范圍的性能提升可以減少非晶層
? 液氮冷臺(tái):消除熱效應(yīng)產(chǎn)生的樣品損傷
? 10英寸彩色觸摸屏控制:簡(jiǎn)單易用的控制圖形用戶界面,可用于顯示和控制所有 PIPS II 參數(shù)
? 數(shù)碼變焦顯微鏡系統(tǒng):實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)減薄過(guò)程
? DigitalMicrograph軟件存儲(chǔ)彩色圖像:可以使用同TEM和EELS數(shù)據(jù)相同的軟件和光學(xué)數(shù)碼顯微鏡進(jìn)行圖像存儲(chǔ)和分析
應(yīng)用
? 半導(dǎo)體
? 金屬(氧化物,合金)
? 陶瓷
圖1. 平面硅110樣本,PIPS II 制備, 圖2.含1 – 3% wt Ga 的快淬AlPb薄帶,使用 TEAM 0.5 進(jìn)行
zui終拋光參數(shù):300 V, 4 min. HR-STEM 成像
技術(shù)規(guī)格
離子源 | |
離子槍 | 兩個(gè)配有低能聚焦能力電極的潘寧離子槍 |
拋光角度(°) | +10 到 -10 每支離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié) |
離子束能量 (kV) | 0.1 – 8.0 |
離子束流密度峰值 (mA/cm2) | 10 |
射束校準(zhǔn) | 使用熒光屏的精密光束校準(zhǔn) |
離子束直徑 | 可用氣體流量計(jì)或放電電壓來(lái)調(diào)節(jié) |
樣品臺(tái) | |
樣品尺寸(mm) | 3 或者 2.3 |
樣品夾持 標(biāo)準(zhǔn) 可選 | 石墨臺(tái) |
轉(zhuǎn)速 (rpm) | 1 – 6 |
離子束調(diào)制 | 角度范圍可調(diào)的單向調(diào)制或雙向調(diào)制 |
X, Y 方向平移 (mm) | ±0.5 |
樣品觀察 Option 1 Option 2 | 雙目顯微鏡 數(shù)碼變焦顯微鏡及 DM 軟件存儲(chǔ)(選配) |
真空系統(tǒng) | |
干泵系統(tǒng) | 80 L/s 的渦輪分子泵,具備兩級(jí)隔膜前級(jí)泵 |
壓力 (torr) 基本壓力 工作壓力 | 5 x 10-6 8 x 10-5 |
真空規(guī) | 冷陰極型,用于主樣品室;固體型,用 于 前級(jí)機(jī)械泵 |
樣品氣鎖 | 樣品交換時(shí)間小于1 分鐘 |
用戶界面 | |
10 英寸彩色觸摸屏 | 操作簡(jiǎn)單,可用于顯示和控制所有 PIPS |
尺寸及使用要求 | |
外形尺寸 (長(zhǎng) x 寬 x 高, mm) | 547 x 495 x 615 |
運(yùn)輸重量 (kg) | 45 |
功耗 (W) 運(yùn)行時(shí) 待機(jī)時(shí) | 200 100 |
電源要求 | 通用100/240 VAC, 50/60 Hz(用戶指定電壓和頻率) |
氬氣 (psi) | 25 |
注:以上技術(shù)規(guī)格如有變化將不另行通知。 |
訂購(gòu)型號(hào)
型號(hào) | 規(guī)格描述 |
695 Basic | PIPS II 系統(tǒng) |
695 Cool | PIPS II 系統(tǒng),包含冷臺(tái) |
695 Plus | PIPS II 系統(tǒng),不含冷臺(tái),包含配備 DM 的數(shù)碼變焦顯微鏡 |
695 Pro | PIPS II Pro 系統(tǒng),含冷臺(tái)以及配備 DM 的數(shù)碼變焦顯微鏡 |
695 Advantage | PIPS II Advantage 系統(tǒng),含PIPS II Pro+馬達(dá)驅(qū)動(dòng)離子槍 |
注:關(guān)于配件和耗材的詳細(xì)情況,請(qǐng)咨詢我公司銷售。 |