全自動四探針測試儀報價全自動四探針測試儀報價型號:RR11-FT-3110B庫號：M409689  

功能介紹四點探針法、全自動化運行測量系統(tǒng)PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法

測量電阻率、方塊電阻、厚度可調探針壓力、測試點數(shù)、多種模式顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值

提供標準校準電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析適用范圍晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；

表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；電極設計，如電鍍銅電阻測量等；規(guī)格型號 FT-3110B（可擴展）

1.方塊電阻 10^-6～2×10^5Ω/□2.電阻率 10-7～2×106Ω-cm

3.測試電流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

4.電阻精度 ≤0.3%（標準電阻）

5.PC軟件操作 PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等

6.壓力范圍 探針壓力可調范圍：100-500g

7.探針 鎢鋼材質，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制

8.載臺類型及尺寸選購 選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）

選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內定制規(guī)格

9.分析模式 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試

10.重復性 單點重復性：重復性≤0.5% 

11.防護功能 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報

12.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W