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潔凈度等級(ISO14644-1 ) | 氣流類型 | 平均風速( m/s ) | 換氣次數(shù)( h-1 ) | 應用實例 |
1 ~ 4 | 單向流 | 0.3 ~ 0.5 | — | 無菌加工 |
5 | 單向流 | 0.2 ~ 0.5 | — | 直接支持無菌加工的其它加工區(qū) |
6 | 非單向流 | — | 50 ~ 60 | 無菌加工的支持區(qū);包括受控的制備區(qū) |
7 | 非單向流 | — | 15 ~ 25 | |
8~9 | 非單向流 | — | 10 ~ 15 |
潔凈度等級( ISO14644-1 ) | 氣流流型 | 平均風速( m/s ) | 單位面積送風量( m3/ ㎡ ·h ) | 應用實例 | ||
2 | U | 0.3 ~ 0.5 | — | 光刻、半導體工藝區(qū); | ||
3 | U | 0.3 ~ 0.5 | — | 工作區(qū)、半導體工藝區(qū); | ||
4 | U | 0.3 ~ 0.5 | — | 工作區(qū)、多層掩膜工藝、密盤制造、半導體服務區(qū)、動力區(qū); | ||
5 | U | 0.2 ~ 0.5 | — | |||
6 | M | 0.1 ~ 0.3 | — | 動力區(qū)、多層工藝、半導體服務區(qū); | ||
N 或 M | — | 70 ~ 160 | ||||
7 | N 或 M | — | 30 ~ 70 | 服務區(qū)、表面處理; | ||
8 | N 或 M | — | 10 ~ 20 | 服務區(qū) | ||
U :單向流 | N :非單向流 | M : 混合流(單向流和單向流的組合流型) |
生物安全柜級別 | 工作口平均進風速度( m/s ) | 循環(huán)風比例( % ) | 排風比例( % ) | 連接方式 | |
Ⅰ級 | 0.38 | 0 | 100 | 密閉連接 | |
Ⅱ級 | A1 | 0.38 ~ 0.50 | 70 | 30 | 可排到房間或設置局部排風罩 |
A2 | 0.50 | 70 | 30 | 可設置局部排風罩或密閉連接 | |
B1 | 0.50 | 30 | 70 | 密閉連接 | |
B2 | 0.50 | 0 | 100 | 密閉連接 | |
Ⅲ級 | — | 0 | 100 | 密閉連接 |
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