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652次日本DNK實驗/研究用曝光機介紹
MA-1200，MA-1400
MA-1200A
手動批量曝光機非常適合于高混合，小批量生產，實驗和研究，并且可以進行穩(wěn)定的自動間隙控制。
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| MA-1200 | MA-1400 | |||
| 板子尺寸 | z大200 x 200mmø4“?ø6” | 高達400 x 400mm | ||
| 光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | 超高壓汞燈：2kW或3.5kW | ||
| 尺寸及重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 | |
| 體重 | 400公斤 | 400kg（包括干凈的圍欄） | ||
| 光源重量 | -- | 250公斤 | ||
| 選項 | 支持特殊的工作尺寸，例如干凈的圍欄，背面對準，硬接觸（真空接觸類型），自動對準，破裂的基板（需要咨詢） | |||
*我們接受有關板子尺寸，水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。
| MA-1200A | |||
| 晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | ||
| 光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | ||
| 尺寸及重量 | 車身尺寸 | 寬850 x厚1150 x高1665毫米 | |
| 重量 | 400公斤 | ||
| 選項 | 背面對齊，自動對齊，開裂的板，條形碼讀取器和LOG存儲支持（需要咨詢） | ||
*我們接受有關特殊規(guī)格的咨詢，例如板子尺寸，水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。
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