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日本motoyama薄膜晶體制造設(shè)備LPE爐技術(shù)

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日本motoyama薄膜晶體制造設(shè)備LPE爐技術(shù)

 

設(shè)備概述

LPE(液體,相位,外延)薄膜晶體制造設(shè)備在日本擁有100多個單位。它由高精度垂直管式爐,旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動軸和控制單元組成,控制單元具有*的溫度控制精度,可實(shí)現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。

 

特征

  • 優(yōu)異的均熱特性
  • 高精度樣品軸旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)
  • 也可以添加到現(xiàn)有的熔爐中(有限制)

選項(xiàng)

  • 惰性氣體引入機(jī)制
  • 液體接觸電信號
  • 排氣罩
  • 根據(jù)實(shí)際制造過程進(jìn)行計(jì)算機(jī)自動操作控制(也可以中斷手動操作)

通過預(yù)先輸入過程詳細(xì)信息,將以確定的值自動執(zhí)行目的地,移動速度,旋轉(zhuǎn)狀態(tài)和旋轉(zhuǎn)速度。

LPE薄膜晶體制造設(shè)備規(guī)格

 加熱器容量

單相200V 2.3kW x 3個區(qū)域

 加熱室尺寸
 直徑x高度mm

φ280×H650毫米

 常溫

800℃?900℃

 z高溫度

1000℃

 溫度分布

±2℃(空氣爐穩(wěn)定在850℃時,φ100×H200mm的空間)

 溫度波動范圍

±0.2℃(空氣爐穩(wěn)定在850℃時,φ100×H200mm的空間) 

 加熱元件

SSS加熱器

 芯管

φ220×φ205×L800mm

 

 LPE熔爐驅(qū)動單元(樣品軸)規(guī)格

 提升速度

20-300毫米/分鐘

 停止精度

 ±1mm以內(nèi)

 旋轉(zhuǎn)方式

前進(jìn)/后退

 轉(zhuǎn)速

20-300 rpm(帶軟啟動)

 轉(zhuǎn)速波動精度

在±1%FS之內(nèi)

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