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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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3軸機械臂3軸圓柱坐標潔凈機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-06-12 08:14:07瀏覽次數(shù)：95次

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所在地區(qū)：

產品簡介

3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點：超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導體生產設備內部

詳細介紹

3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： 

超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列

適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運

機械手臂標準臂長: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm

適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境

潔凈間內的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達距離

340mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm

可搬運質量

3kg (手臂第3關節(jié)處基準)




如需詳細產品參數(shù) 請聯(lián)系我們


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