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北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第14年

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四探針電阻率檢測(cè)儀

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低阻型四探針檢測(cè)儀/方阻儀/四探針電阻率檢測(cè)儀  型號(hào):WS-KDY-1

 


儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)?br />(2)范圍:電阻率10-5~10+3歐姆·厘米,分辨率為10-5歐姆·厘米
方塊電阻10-4~10+4歐姆/□,zui小分辨率為10-4歐姆/□
(3)可測(cè)量材料:半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等
可準(zhǔn)確測(cè)量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥20㎜

可測(cè)量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥8㎜
(4)測(cè)量方式:平面測(cè)量。
(5)電壓表:雙數(shù)字電壓表,可同時(shí)觀察電流、電壓變化
A.量程0~19.999 mV
B.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿(mǎn)度)
C.靈敏度:1uV
D輸入阻抗﹥1000MΩ
E 4 1/2位數(shù)字顯示,0~19999
(6)恒流源:
A.電流輸出:直流電流0.003~100 mA連續(xù)可調(diào),有交流電源供給
B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五檔

 C.恒流源精度:各檔均≤±0.05%
(7)四探針測(cè)試探頭
A.探頭間距1.59㎜
B.探針機(jī)械游率:±0.3%
C.探針直徑0.8㎜
D.探針材料:碳化鎢,探針間及探針與其他部分之間的緣電阻大于109歐姆。
(8)測(cè)試架:(選配)
手動(dòng)測(cè)試架:KDJ-1A 型手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試,探針頭可上下移動(dòng)距離:120mm,測(cè)試臺(tái)面200x200(mm)。
(9)精度
電器精度:1-1000歐姆≤0.3 %
整機(jī)測(cè)量精度:1-100歐姆·厘米≤3%
(10)電流:220V±10%,50HZ,功率消耗﹤35W
注:如果測(cè)金屬粉末電阻率必把樣品壓成塊或片才能測(cè)

 

 

 

雙電測(cè)四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀 型號(hào):TC-RTS-5


TC-RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱(chēng)雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線(xiàn)四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。
   TC-RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù):
 測(cè)量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展); 
 電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm; 
 電阻:0.001~200Ω.cm; 
可測(cè)晶片厚度 ≤3mm
可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動(dòng)顯示;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
 針間緣電阻:≥1000MΩ; 
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
 相對(duì)濕度:≤65%;
 無(wú)高頻干擾;
 無(wú)強(qiáng)光直射;
 

 

數(shù)字式四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀/數(shù)字式四探針檢測(cè)儀 型號(hào):TC-SZT-2000

 


TC-SZT-2000A型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是根據(jù)四探針測(cè)試原理研究成功的多用途的綜合測(cè)量裝置,它可以測(cè)量棒狀、塊狀
半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測(cè)量,可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測(cè)硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻,是硅材料質(zhì)量監(jiān)測(cè)的必需儀器。
儀器為臺(tái)式結(jié)構(gòu),分為電氣箱、測(cè)試架兩大部分,用戶(hù)可以根據(jù)測(cè)試需要安放在一般工作臺(tái)或者工作臺(tái)上,測(cè)試架由探頭及壓力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、樣品架組成,耐磨和使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置,壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào),測(cè)試架設(shè)有手動(dòng)和電動(dòng)兩種裝置供用戶(hù)選購(gòu)。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成,測(cè)量結(jié)果由數(shù)字直接顯示,儀器有自校量程,可以方便地對(duì)儀器的電氣性能進(jìn)行校驗(yàn)。
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn),儀器于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門(mén)、高等院校,對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試及工藝檢測(cè)。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1.  范圍:電阻率10-4—103Ω—cm,可擴(kuò)展至105Ω—cm,分辯率為10-6Ω—cm
         方塊電阻10-3—103Ω /□
         電阻10-6—105Ω
2.  可測(cè)半導(dǎo)體尺寸:直徑Φ15—150mm
3.  測(cè)量方式:軸向、斷面均可(手動(dòng)測(cè)試架)
4.  數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V 
  (2)測(cè)量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)
              2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)
  (3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
              20mV檔以上>108Ω
  (4)顯示3 1/2位數(shù)字顯示,0—1999
具有性和過(guò)載自動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
5.  恒流源:(1)電流輸出:直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào),由交流電源供給
   (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
   (3)電流誤差:±(0.3%讀數(shù)+2字)
6.四探針測(cè)試探頭  (1)探頭間距:1mm   (2)探針機(jī)械游率:±0.3% 
                   (3) 探針:Φ0.5mm    (4)壓力:可調(diào)
  7. 測(cè)試架:
  (1)手動(dòng)測(cè)試架:探頭上升及下降由手動(dòng)操作,可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測(cè)試。
  (2)電動(dòng)測(cè)試架:探頭的上升和下降由電動(dòng)操作,設(shè)有自動(dòng)控制器控制,探頭上升時(shí)間1S—99S可調(diào),探頭下降時(shí)間1S—99S可調(diào),壓力恒定可調(diào)(由砝碼來(lái)設(shè)定)同時(shí)設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開(kāi)關(guān)控制探頭上下運(yùn)動(dòng)。
   8.電流:220V±10% 50HZ或60HZ:功率消耗<35W
9.    外形尺寸:電氣箱130×110×400mm

公司名稱(chēng):北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
聯(lián) 系 人:蘇
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:     2495283342
地    址:北京市通州區(qū)新華北街117號(hào)
網(wǎng)    站:www.5117sel.com

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