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真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范
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- 【資料簡(jiǎn)介】
真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,針對(duì)工件通孔口徑較小的真空室,提供一種密封性好、所占空間小、加工和日常維護(hù)都較方便的真空系統(tǒng)用的真空插板閥。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥,包括驅(qū)動(dòng)元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板,閥體為中空的長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu),閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接,閥體的左右兩側(cè)壁上分別開(kāi)有閥體通孔,閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通,閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部,驅(qū)動(dòng)元件末端穿過(guò)閥體頂部并與閥芯頂部固定連接, 下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。所述驅(qū)動(dòng)元件與閥體頂部相接處設(shè)有密封件,可有效提高驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)行的可靠性和閥體內(nèi)部的密封性。根據(jù)實(shí)際需要,閥芯及閥體中部空間的結(jié)構(gòu)形式主要有2種下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。所述閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面上還分別開(kāi)有設(shè)置密封圈用的密封槽,在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈,可更好地提高其密封效果。
真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范
真空插板閥的工作原理是閥通過(guò)閥桿的左右或上下運(yùn)動(dòng),將閥板與閥座壓緊實(shí)現(xiàn)密封。驅(qū)動(dòng)閥桿運(yùn)動(dòng)的方式有手動(dòng)、電動(dòng)、氣動(dòng)三種。手動(dòng)是通過(guò)手輪的旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)閥桿和閥桿上的螺母或四桿連動(dòng)式的閥桿使閥板運(yùn)動(dòng)。
手、電兩用的傳動(dòng)部件由直流電動(dòng)機(jī)、齒輪箱組成。電動(dòng)操作時(shí),電動(dòng)機(jī)按某一方向(如關(guān)閉方向)旋轉(zhuǎn),并通過(guò)傳動(dòng)部件使四桿連動(dòng)式的閥桿往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)閥板進(jìn)入與閥座密封部位時(shí),閥板靠板式彈簧部件的作用,使閥板壓緊。
此時(shí)裝有行程開(kāi)關(guān)而自動(dòng)切斷電源,運(yùn)動(dòng)立即停止。反之,若需打開(kāi)閥門(mén)時(shí),只需按反轉(zhuǎn)電鈕即可。手動(dòng)時(shí),只需松開(kāi)手輪背帽,按一定方向用手轉(zhuǎn)動(dòng)手輪即可。手、電兩用的超高真空插板閥外形圖。該閥結(jié)構(gòu)合理,閥板與閥體密封時(shí)漏氣速率小于1×10-7Pa·L/s;閥門(mén)總漏氣速率小于5×10-8Pa·L/s;閥板開(kāi)啟時(shí)閥體烘烤溫度小于150℃;手動(dòng)裝置允許受熱溫度小于65℃;工作穩(wěn)定可靠,操作方便;可遠(yuǎn)距離控制。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)部件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力,通過(guò)電磁換向閥使氣動(dòng)部件帶動(dòng)傳動(dòng)裝置,使閥門(mén)往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)啟閉作用,達(dá)到密封的目的。
真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范有高真空插板閥和超高真空插板閥兩種。
1、高真空插板閥主要用于高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流,可安裝在被抽真空容器(真空室)與真空泵之間;或用于在半連續(xù)真空作業(yè)的進(jìn)出料容器上。使用溫度為-20~80℃,不適用于對(duì)黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。
2、超高真空插板閥主要用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流。適用的介質(zhì)為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體;適用溫度在閥門(mén)開(kāi)啟時(shí),閥體允許烘烤溫度小于150℃。
由于真空插板閥具有流導(dǎo)大,密封性能好,放氣率低,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊、合理,操作方便,安裝位置可任意選擇等一系列優(yōu)點(diǎn),因此真空插板閥廣泛用于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統(tǒng)中。
真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范的形式和性能參數(shù)
1、高真空插板閥的形式與基本參數(shù),已有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(JB/T 4077—91)。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的高真空插板閥的形式和基本參數(shù),適用于1.3×10-5~1.0×105Pa真空系統(tǒng)中用來(lái)開(kāi)啟或隔斷氣流的插板閥。開(kāi)啟閥門(mén)時(shí),閥板兩側(cè)的壓差應(yīng)小于或等于2.7kPa。
2、我國(guó)生產(chǎn)的超高真空插板閥有手動(dòng)(CC型)、氣動(dòng)(CCQ型)和電動(dòng)(CCD型)三種。適用于介質(zhì)為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動(dòng)來(lái)推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng),撐開(kāi)閥板關(guān)閉,又靠彈簧力收攏閥板打開(kāi)的高真空閥門(mén);GCQ系列以壓縮空氣為動(dòng)力推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉。
真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計(jì)規(guī)范
這兩種閥的材料為不銹鋼,漏氣速率不超過(guò)1.3×10-7Pa·L/s。GCD型系列閥門(mén)形式同CCD型超高真空插板閥,只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封結(jié)構(gòu)改為丁腈橡膠圈密封結(jié)構(gòu);閥體閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳,閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為1.3×104~105Pa。
上述的結(jié)構(gòu),所述密封板在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下在閥體內(nèi)徑向移動(dòng)至進(jìn)出口處,軸 向向下移動(dòng)至出口端,設(shè)置于密封板下端的密封圈與所述出口端的連接法蘭接觸密 封,所述插板閥關(guān)閉,開(kāi)啟過(guò)程相反,首先密封板軸向向上移動(dòng),所述密封圈與所述出 口端的連接法蘭脫離,徑向移動(dòng)至密封板離開(kāi)所述進(jìn)出口位置;在上述的開(kāi)啟及關(guān)閉過(guò)程 中,由于與所述的密封圈對(duì)應(yīng)位置的密封板內(nèi)的水冷通道內(nèi)部通過(guò)軟體進(jìn)出水管有冷 卻介質(zhì)流動(dòng),因此,有效降低了密封圈的溫度,所述軟體進(jìn)出水管設(shè)置在閥體內(nèi),并隨 所述密封板的移動(dòng)而在所述閥體內(nèi)移動(dòng),不影響動(dòng)密封配合,確保了動(dòng)密封的良好密封性能同時(shí)延長(zhǎng)了密封圈的使用壽命。
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