HO14/KDY-1四探針電阻率/方阻測試儀技術資料

【資料簡介】

用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。

本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。

2、主機技術能數(shù)

（1）測量范圍：

可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm

可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□

（2）恒流源：

輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調

量程：0.001～0.01mA

0.01～0.10mA

0.10～1.0mA

1.0～10mA

10～100mA

恒流精度：各檔均低于±0.05%

（3）直流數(shù)字電壓表：

測量范圍：0～199.99mV

靈敏度：10μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）

輸出電源：≥1000ΩM

（4）供電電源：

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

（5）使用環(huán)境：

溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%

無較強的電場干擾，無強光直接照射

（6）重量、體積：

主機重量：7.5kg

體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）

可測電阻率：0.0001～ 10000Ω•cm，

探針材質：碳化鎢，

功率≤35W，帶測試架，電壓量程0-199.9mV，

電流量程：10µA，100µA，1mA,10mA,100mA五檔

恒流源精度：各檔≤0.5%

功率≤35W，帶測試架，電壓量程0-199.9mV，

電流量程：10µA，100µA，1mA,10mA,100mA五檔
恒流源精度：各檔≤0.5%