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HO14/KDY-1四探針電阻率/方阻測試儀技術資料

2014年09月02日 13:25:07人氣:291來源:白山市玖久儀器儀表有限公司

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關 鍵 詞1四探針電阻率
【資料簡介】

用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。

本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。

2、主機技術能數(shù)

(1)測量范圍:

可測電阻率:0.0001~19000Ω•cm

可測方塊電阻:0.001~1900Ω•□

(2)恒流源:

輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調

量程:0.001~0.01mA

0.01~0.10mA

0.10~1.0mA

1.0~10mA

10~100mA

恒流精度:各檔均低于±0.05%

(3)直流數(shù)字電壓表:

測量范圍:0~199.99mV

靈敏度:10μV

基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)

輸出電源:≥1000ΩM

(4)供電電源:

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

(5)使用環(huán)境:

溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%

無較強的電場干擾,無強光直接照射

(6)重量、體積:

主機重量:7.5kg

體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)

可測電阻率:0.0001~ 10000Ω•cm,

探針材質:碳化鎢,

功率≤35W,帶測試架,電壓量程0-199.9mV,

電流量程:10µA,100µA,1mA,10mA,100mA五檔

恒流源精度:各檔≤0.5%

功率≤35W,帶測試架,電壓量程0-199.9mV,

電流量程:10µA,100µA,1mA,10mA,100mA五檔
恒流源精度:各檔≤0.5%

白山市玖久儀器儀表有限公司作者

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