1. 閥座的板簧變形腔，密封性能不好，以致于多晶硅的硅粉進入閥座板簧變形腔，造成板簧被堵死失效后，球閥被閥座卡死從而不能很好的進行開關，甚至不能關閉。

2. 閥體與球之間的中腔在閥門開關的時候進入硅粉，使球體抱死造成多晶硅球閥不能順利開關。但造成這種原因需要一個工況條件，就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結在腔體內。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是*種情況硅粉進入了閥座板簧變形腔了。

上述出現(xiàn)多晶硅球閥抱死故障的處理方法：

1. 采用全O形球體的球閥，雙閥座，板簧加載結構，閥座密封設計成寬面刮刀式結構，在閥門開關時能除去黏結在球面的硅粉，具有自剪的自清潔功能，板簧采用雙石墨密封結構，在閥門密封的同時，板簧也被密封，介質不會進入板簧變形腔，使板簧不被堵死失效，可以長時間滿足使用要求。

2. 在潮濕硅粉堵塞閥門中腔造成抱死不能開關的這種特殊情況， 我們一般建議客戶加強硅粉的干燥效果或改用推出的V形半球閥和V型球閥，來*解決多晶硅球閥卡死堵塞問題。